MEMS流体导热系数和热扩散率传感器
发布时间：2014-06-07
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- 2014-06-07
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- MEMS流体导热系数和热扩散率传感器
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采用3ω法测量液体的导热系数，并结合微机电系统（MEMS）制作工艺，设计了一种新型结构的流体热物性（导热系数和热扩散率）传感器，推导了加热器温度波动表达式，得到了液体热物性测量公式，并设计完成版图。这种传感器结构简化了分析模型，提高了测量灵敏度，所需流体体积少（小于1μL）。
图1 传感器结构示意图
图2 传感器温度波动图
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