博士研究生方向：
1）机械工程（080200-01），研究方向：微纳机械电子系统（MNEMS)与微纳制造技术
2）机械工程（080200-02），研究方向：精密超精密加工及光电测试技术与装备
3）机械工程（080200-03），研究方向：微纳传感器设计与制造
4）仪器科学与技术（080400-01），研究方向：微纳机械电子系统与微纳米测试技术
5）仪器科学与技术（080400-02），研究方向：精密测试仪器与先进传感技术
6）仪器科学与技术（080400-07），研究方向：微流体与纳米生物工程技术
硕士研究生方向：
1）机械制造及其自动化（08020110、12），研究方向：微型机械电子系统（MEMS)与微米纳米技术、微纳米检测技术
2）测试计量技术及仪器（08040206），研究方向：微型机械电子系统(MEMS)
3）测试计量技术及仪器（08040208 ），研究方向：传感器技术、智能仪器与生物测试技术