主持项目

1）秦创原“科学家+工程师”队伍建设项目，液体火箭发动机智能传感器研发，2022/1-2024/12，30万元，在研

2）J202312037，硅基高温压力传感器高可靠性优化开发，2023/12-2024/12，52万元，在研

2）J202312038，硅基高温压力传感器高性能敏感薄膜开发，2023/12-2024/12，41万元，在研

3）安徽省揭榜挂帅项目：2022e020002HZ、面向新一代超声诊疗的高性能MEMS换能器芯片关键技术研究，2022/11-2025/10,1000万元，在研

4）国家自然科学基金重大项目课题：51890884、电静液驱动执行器热流固环境多源感知和智能健康监测，2019/01-2023/12，368万元，在研

5）国家重点研发计划：2020YFB2009101、多层异质薄膜材料的高温感知与服役特性，2020/10-2023/09，313万元，在研

6） 国家自然科学基金面上项目： 51875449、基于耦合效应的高性能PMUTs工作机理与测试技术研究，2019/01-2022/12，60万元，在研

7）陕西省杰出青年科学基金资助项目：2019JC-06、微纳制造与先进传感技术，2019/01-2021/12，30万元，在研

6）国家重点研发计划子课题任务：2016YFB0501604、天临空地车轨道交通系统状态信息获取、监测与预警技术、2016/07-2020/06，70万元，结题

7）2011教育部纳米科技协同创新中心协同攻关项目：xjtusz007、高温压力传感器关键技术开发及工程化中试、2016/7-2018/6，100万元，结题

参与项目

1）J202301014，硅压阻智能一体化传感器设计开发，2023/1-2025/1,470万元，参加

2）西安交通大学项目，xtr052023006,柔性可穿戴 MEMS 超声医疗诊断系统研究，2023/10-2025/12,75万元，参加

3）国家重点研发计划，2020YEB2009100，高性能 MEMS 高温温度传感器关键技术研发及工程应用，2020/10-2023/9，1288万元，参加

3）国家自然科学基金联合基金重点项目，U1909221，基于MEMS技术的智能机器人用多功能集成传感器关键技术研究，2020/01-2023/12，200万元、参加

4）陕西省重点研发计划项目，2018ZDXM-GM-103，高性能MEMS压阻式微压传感器及其制造技术研究，2018/08-2020/07，50万元、参加

5）陕西省重点研发计划项目，2018ZDXM-GY-02-02，高精度压力传感器的研发，2018/01-2020/12，90万元，参加

6）国家重大科学仪器设备开发专项，2012YQ03026101，自动化核酸检测与分析关键技术及部件研制，2012/10-2016/09，4600万元，参加