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赵立波
教授
博士生导师
硕士生导师
电子邮箱：
1033597e4a5f806483f1be160bbda8d04564e9c0b8eac3a744f0703be99fae0f0a1f25c2751e0fdd862680033706a5c06a87c2916aa00af2d7fe71c0c96bc56a5d70df9e23312e3f130b8ec21ab48db254f65a150423e10cd9edf74ef737088e611c7ace313de70fc4039ee50372d0ea71c916c3a506728ab31f87cdd0f05718
学历： 博士研究生毕业
学位： 博士
专利成果
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科学研究
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专利成果
一种基于谐振式结构的电涡流传感器芯片及其制备方法,201210567773.9,发明,2012-12-25,
一种硅杯结构的热扩散率传感器芯片及其制备方法,201210201502.1,发明,2012-6-18,
一种电容式微加工超声传感器及其制备与应用方法,201210068766.4,发明,2012-3-15,
基于MEMS技术的同时测量流体密度、压力和温度的集成流体传感器,授权号：ZL 2011 1 018019,发明,2011-6-30,
一种用于密度测量的电容微加工超声传感器及其制备方法,201110156060.9,发明,2011-6-10,
具有双惠斯通全桥结构的MEMS流体密度传感器芯片及其制备方法,201110156059.6,发明,2011-6-10,
一种基于晶圆键合技术的黏度传感器芯片及其制备方法,201110156116.0,发明,2011-6-10,
一种双C型压电式动态轴重传感器,授权号：ZL 2011 1 008103,发明,2011-3-31,
MEMS筒式耐高温超高压力传感器,授权号：ZL 2010 1 062188,发明,2010-12-31,
一种复合式MEMS耐高温超高压力传感器,授权号：ZL 2010 1 052285,发明,2010-10-28,
共 15 条 1/2
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