PPy压强传感器
发布时间：2014-06-08
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- PPy压强传感器
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为了提高微压强测量传感器的灵敏度，不仅要求传感器的结构设计合理，更需要有合适的材料作为传感器的敏感元件。在保证传感器结构强度以及稳定性的情况下，需要提高传感器的灵敏度和线性度。本设计基于微通道的微压强传感器，结构如(图1)。此压强传感器利用聚吡咯水凝胶材料作为敏感材料，利用其特有内部空心球状微观结构（如图2）而使其具有的体压阻以及表面压阻效应，大大提高了传感器在工作中的灵敏度。在此基础上，通过微细工艺在PPy与微通道的接触面上利用宏微结合的硅模具（如图3）制作出阵列化图案，大大加强PPy材料的压阻效应。
图1 基于微通道的微压强传感器结构图
图2 内部空心球状微观结构
图3 硅模具
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