基于CMUTs技术的生化传感器研究
发布时间：2014-06-02
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- 基于CMUTs技术的生化传感器研究
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采用MEMS技术与化学/生物技术研制出一种具有小体积、高灵敏度、高品质因子、低噪声、宽工作温度范围等特点的CMUTs，通过测量薄膜质量变化引起CMUTs电气参数和谐振频率偏移来实现对痕量有毒污染物的现场快速监测和连续在线分析。相比其他类型的化学/生物传感器，采用CMUTs开展痕量有毒污染物的监测研究具灵敏度高、误报率低、鲁棒性高、工作温度范围宽、易集成、成本低等优势。
图1 工作原理示意图