谐振式微悬臂梁结构的流体黏/密度传感器研究
发布时间：2014-06-03
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- 2014-06-03
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- 谐振式微悬臂梁结构的流体黏/密度传感器研究
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谐振式检测方法属于动态测量，适用于流动环境下的检测，广泛的应用于生物、医疗、石油、化工等领域，而微型悬臂梁具有结构简单、加工方便、响应迅速、检测灵敏等特点。对微梁的谐振采用电磁激励和压阻检测的方法实现，这种方法相对与别的激励和检测方式更加稳定可靠。与此同时设计了集成度较高的封装结构，能够更好的进行工业在线或医疗在体测量。微梁芯片的平面尺寸为3.5mm×7mm，使用MEMS工艺加工，流体黏度的测量精度能够达到8%以内，密度的测量精度能够达到0.7%以内。
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