| 序号 |
获奖项目名称 |
奖励名称 |
获奖时间 |
排名 |
| 1 |
高动态MEMS压阻式特种传感器及系列产品 |
国家技术发明二等奖 |
2017 |
1 |
| 2 |
耐高温压力传感器设计制造关键技术及系列产品开发 |
国家技术发明二等奖 |
2007 |
2 |
| 3 |
MEMS微爆轰传感与控制关键技术及应用 |
陕西省技术发明一等奖 |
2021 |
1 |
| 4 |
危化品安全储运状态监测MEMS传感器及系统 |
陕西省科学技术一等奖 |
2012 |
1 |
| 5 |
耐高温压力传感器的设计、制备技术及系列产品开发 |
教育部技术发明一等奖 |
2006 |
2 |
| 6 |
棉条检测硅微传感器 |
陕西省科学技术一等奖 |
2005 |
2 |
| 7 |
飞秒激光湿法刻蚀微纳制造方法及应用 |
教育部自然科学二等奖 |
2014 |
3 |
| 8 |
特种/极端环境高动态MEMS压力传感器研发及产业化 |
江苏省科学技术三等奖 |
2015 |
4 |
| 9 |
SOI耐高温压力传感器 |
西安市科学技术一等奖 |
2005 |
2 |