智能制造装备MEMS传感器
当前位置: 中文主页 >> 研究方向 >> 智能制造装备MEMS传感器高端/智能制造装备是先进制造技术、信息技术和智能技术的集成和融合。高性能传感器系统是高端装备实现智能化的首要前提。本课题组针对高端机床智能化的发展趋势，开展用于机床切削状态原位检测和在线调控的高精度MEMS系列化传感器技术与智能部件研究，包括微型振动、力、温度传感器芯片等，并在机械制造企业进行示范应用，具有广泛的市场前景和发展潜力。
高端/智能制造装备是先进制造技术、信息技术和智能技术的集成和融合。高性能传感器系统是高端装备实现智能化的首要前提。本课题组针对高端机床智能化的发展趋势，开展用于机床切削状态原位检测和在线调控的高精度MEMS系列化传感器技术与智能部件研究，包括微型振动、力、温度传感器芯片等，并在机械制造企业进行示范应用，具有广泛的市场前景和发展潜力。