硅MEMS压阻式传感器
当前位置: 中文主页 >> 研究方向 >> 硅MEMS压阻式传感器围绕耐高温、高动态MEMS压阻式特种传感器，揭示了其在微纳尺度下的力学耦合与频响损失机理，提出了基于微纳力学耦合、干扰预处理、无频损失封装的传感器设计新思路，解决了传感器灵敏度和固有频率相互制约的难题，发明了高动态MEMS压阻式特种压力/加速度传感器，开发了系列产品，满足了国防及石化等领域的高动态测量与应用急需，并实现了产业化。
围绕耐高温、高动态MEMS压阻式特种传感器，揭示了其在微纳尺度下的力学耦合与频响损失机理，提出了基于微纳力学耦合、干扰预处理、无频损失封装的传感器设计新思路，解决了传感器灵敏度和固有频率相互制约的难题，发明了高动态MEMS压阻式特种压力/加速度传感器，开发了系列产品，满足了国防及石化等领域的高动态测量与应用急需，并实现了产业化。