团队对于应用于航空航天、气象采集等高精度压力测量领域的谐振式压力传感器进行了研究。利用ANSYS软件建立谐振器-压力-频率有限元模型，仿真结果与理论推导值误差小于1.5%，为降低谐振器的温度灵敏度，提出一种低应力柔性封装方式和正负频率温度灵敏度抵消补偿方式。实验结果表明，传感器样机的全量程精度优于0.01%FS，温度系数仅为0.821Hz/℃。

发表论文：

[1]  Xuejiao Li, Libo Zhao, et al. The design of a high precision capacitive pressure sensor based on comb electrode [C]. The 42nd PhotonIcs and Electromagnetics Research Symposium (PIERS), Xiamen, China, 17-20 December, 2019.

[2]  Xiangguang Han, Libo Zhao, Xuejiao Li, et al. A High Accuracy Resonant Pressure Sensor with Lateral Driven and Piezoresistive Detection[C]. The 14th Annual IEEE Intrnational Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS 2019), Bangkok, Thailand, April 11-14, 2019.

专利：

[1]  一种双H受拉梁硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法[P]：中国，201910065049.8．申请日期：2019-01-23．发明人：赵立波，韩香广，李雪娇，卢德江，郭鑫，王鸿雁，吴永顺，赵玉龙，蒋庄德．

[2]  一种双H梁受压硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法[P]：中国，201910064334.8．申请日期：2019-01-23．发明人：赵立波，韩香广，李雪娇，郭鑫，皇咪咪，卢德江，王久洪，赵玉龙，蒋庄德．

[3] 压电激振受拉式硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法[P]：中国，201910064348.X．申请日期：2019-01-23．发明人：蒋维乐，李雪娇，赵立波，韩香广，方续东，郭鑫，卢德江，王鸿雁，吴永顺，赵玉龙．