以石墨烯键长为基准的超精密制造装备精度比对及精度补偿方法
点击次数:
发布时间:2025-04-30
专利名称:以石墨烯键长为基准的超精密制造装备精度比对及精度补偿方法
专利类型:发明
申请号:201210371547.3
是否职务专利:否
申请日期:2012-09-28
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以石墨烯键长为基准的超精密制造装备精度比对及精度补偿方法
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专利名称:以石墨烯键长为基准的超精密制造装备精度比对及精度补偿方法
专利类型:发明
申请号:201210371547.3
是否职务专利:否
申请日期:2012-09-28
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