刘红忠  (教授)

             一 辊压印机


   本团队所作的光栅尺辊压印机可以实现线纹周期为4-40μm，长度为2m 高精度光栅尺(玻璃基底)及柔性超长光栅(50m以上) 的连续制造。

            二 光栅尺读数系统

           
   本团队所作的旋转曝光台采用步进式光刻工艺方法，将平面掩模版上光栅微结构通过多步光刻方法转移至整个圆周表面，使筒状模具表面具有光栅微结构的光刻胶掩蔽层。

   此模具为辊压印光栅母版模具，以此模具为母版可以实现高精度，高效率、低成本、大面积的光栅尺胚的制造。

           三  柔性二维微结构

            九 微结构复型

   对于复杂异形体结构的制造一直以来是一件比较困难的事情，采用机械加工方法或激光制作法，由于有热和力的作用，对微结构表面都会有破坏作用，因此需要找出一种简单高效的方法。采用复型制造的方法，可以精确的将微结构进行复型，这种方法成本低而且可以批量生产，对复杂异形体的复型制造是一种有效的方法。

  平面光栅主要用于光谱分析和光波长的测量等方面，理想的反射式平面光栅，可视作是相互平行，等宽，等间距，均匀排列的许多狭缝。大面积高线数面光栅的制造在国内外一直是难题，对军事尤其对于国家“点火计划”的实施至关重要，因此，如何低成本、精确的复型制造大面积高线数面光栅，已成为人们关注的热点。如图为复型的1740线高线数面光栅，复型过程中需保证面光栅面型平整而且结构完整。