刘红忠  (教授)

• 1. 微纳制造及智能传感

针对微纳结构多材料表/界面调控的关键难题，提出了微纳尺度域内多材料表/界面的结构场调控成型与驱动理论模型，发现了多材料体相结构的调控机制，提出了多材料表/界面设计与精确调控的理论模型，发展了多材料表/界面结构的纳米精度制造与微域调控方法，突破了微域光信息的精确操控难题。

• 2. 光电子器件的跨尺度制造及应用

针对大幅面微纳米结构一致性制造的难题，发展了外场调控的连续滚压印制造技术，实现了幅面为700×800 mm2，特征结构尺寸<500nm周期的二维光栅、直径650 mm的圆光栅及ϕ500mm的“超精密圆光栅角度传感器”的高精度制造。开发的在非平面结构化光阑，保证了异形面上微结构图形的一致性，解决了航天用红外探测器视场不规则、一致性较差的难题，推广应用于国防工业的高精密测量系统或装置中。

• 3. 超精密测量

提出了弱干涉信号的位姿解析理论模型，发展了时空域光栅纳米级细分新技术，实现了光栅信号的实时全参量闭环补偿和多自由度读数系统，测量分辨率达到0.25 nm。技术上不仅突破了国外技术封锁、产品禁运的卡脖子局面，自制知识产权的核心技术在国际行业内上形成了互补性。