高速大行程的气压半悬浮二自由度共基面运动工作台
点击次数：
发布时间：2025-04-30
专利名称：高速大行程的气压半悬浮二自由度共基面运动工作台
专利类型：发明
申请号：200710018229.8
是否职务专利：否
申请日期：2007-12-14
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高速大行程的气压半悬浮二自由度共基面运动工作台
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专利名称：高速大行程的气压半悬浮二自由度共基面运动工作台
专利类型：发明
申请号：200710018229.8
是否职务专利：否
申请日期：2007-12-14
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