- 一种用于温度检测的抗变形柔性温度传感器及其制备方法,ZL202011057683.6,Invent,2020-5-1,
- 用于检测激光光斑温度场分布的温度传感器及其制备方法,ZL201910161572.0,Invent,2019-3-3,
- 一种三角梁结构湍流传感器,ZL201611073308.4,Invent,2016-7-1,
- 一种孔缝双桥式加速度传感器芯片及其制备方法,201110133962.0,Invent,2011-5-1,
- 一种具有复合多梁结构的加速度传感器芯片及其制作方法,201110133986.6,Invent,2011-5-1,
- 梁膜结合微压传感器,200910024321.4,Invent,2010-11-1,
- 一种硅微加速度传感器芯片,200910219464.0,Invent,2010-6-1,
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