| 项目编号 | 项目名称 | 负责人 | 课题类型 | 起止日期 |
| 2021YFB3201100-ZKT02 |
基于变革性力-电-热耦合敏感原理的压电-热电氧化物及新型力/热传感器研究
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张琪 | 科学部重点研发子课题 | 2021/11/1-2024/12/31 |
| U20A20296HZ |
新型非晶碳基薄膜压阻材料与MEMS器件关键技术
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张琪 | 国家自然科学基金重点项目子课题 | 2021/1/1-2025/03/19 |
| 2020Z023 |
新型碳基薄膜压阻材料与传感器研究
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张琪 | 市重大专项子课题 | 2020/12/25-2023/12/31 |
| 51805425 |
高灵敏度石墨烯纳晶碳膜压阻机理及其MEMS传感器关键技术研究
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张琪 | 国家自然科学基金青年基金 | 2019/1/1-2021/12/31 |
| J202010004 |
高剂量硼离子注入工艺开发
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张琪 | 横向 | 2020/9/1-2025/12/31 |
| 202009133 |
高温无引线SOI微型MEMS压力敏感芯片设计开发
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张琪 | 横向 | 2020/9/11-2025/1/1 |
| 2018JQ5018 |
石墨烯纳晶碳膜高灵敏度高频MEMS加速度传感器研究
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张琪 | 陕西省自然科学基金 | 2018/1/1-2019/12/31 |