为满足航空航天、辐射、高温、海洋等严苛服役环境测试需求，本团队已研发多款成熟硅基MEMS传感器。同时在此基础上，开发了更高性能的敏感半导体，如石墨烯、非晶碳、二硫化钼等新型半导体功能薄膜，这些功能薄膜具有优异的机械性能、化学特性和压阻性能，攻克MEMS技术兼容性研究。围绕上述新型敏感半导体，调控微纳分子组分，优化敏感结构，揭示复杂键态体系的压阻机理，开展新一代MEMS传感器的研究并实现应用。
为满足航空航天、辐射、高温、海洋等严苛服役环境测试需求，本团队已研发多款成熟硅基MEMS传感器。同时在此基础上，开发了更高性能的敏感半导体，如石墨烯、非晶碳、二硫化钼等新型半导体功能薄膜，这些功能薄膜具有优异的机械性能、化学特性和压阻性能，攻克MEMS技术兼容性研究。围绕上述新型敏感半导体，调控微纳分子组分，优化敏感结构，揭示复杂键态体系的压阻机理，开展新一代MEMS传感器的研究并实现应用。