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于明智

助理教授 硕士生导师

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  • 电子邮箱:
  • 学历: 硕博连读
  • 学位: 博士
  • 职称: 助理教授
  • 学科: 仪器科学与技术

发明专利

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[1] 赵立波, 于明智, 马银涛, 等. 一种纯轴向变形的MEMS三轴压阻式加速度计芯片及其制备方法: CN201910683519.7[P]. 2020-07-28. 
[2] 赵立波, 于明智, 马银涛, 等. 一种具有纯轴向变形敏感梁的MEMS压阻式三轴冲击加速度计芯片及其制备方法: CN201910684531.X[P]. 2021-01-19.
[3] 赵立波, 于明智, 蒋维乐, 等. 一种MEMS直拉直压式两轴加速度计芯片及其制备方法: CN201710916278.7[P]. 2019-10-11.
[4] 蒋维乐, 于明智, 赵立波, 等. 一种MEMS压阻式两轴加速度传感器芯片及其制备方法: CN201710919747.0[P]. 2019-10-11.
[5] 赵立波, 王延斌, 秦广照, 于明智,等. 一种双腔MEMS碱金属气室及其制备方法: CN202211604516.8[P]. 2023-04-28.
[6] 夏勇, 王涛, 赵立波, 于明智, 等.一种基于纯轴向应变梁的单轴加速度传感芯片及其工作方法: CN202211485553.1[P]. 2023-03-10.
[7] 陈瑶, 马银涛, 张宁, 于明智, 等. 一种单光束混合光抽运系统及其背景光强抑制方法: CN202110019232.1[P]. 2022-09-23.
[8] 赵立波, 贾琛, 罗国希, 于明智, 等. 一种压阻式双轴加速度传感器芯片及其制备方法: CN202110150381.1[P]. 2021-06-15.
[9] 赵立波, 马银涛, 罗国希, 于明智等. 一种原子磁强计的MEMS气室碱金属原子源选择方法: CN202010403189.4[P]. 2021-05-28.
[10] 赵立波, 马银涛, 于明智, 等. 一种具有纯轴向变形敏感梁的面外压阻式加速度计芯片及其制备方法: CN201910683513.X[P]. 2022-10-25.
[11] 赵立波, 贾琛, 罗国希, 于明智, 等. 一种面内双轴压阻加速度传感器芯片及其制备方法: CN201910644481.2[P]. 2022-04-25.
[12] 赵立波, 贾琛, 蒋维乐, 于明智, 等. 多梁式单质量块面内双轴加速度传感器芯片及其制备方法: CN201710938806.9[P]. 2019-10-11.
[13] 陈瑶, 蒋庄德, 赵立波, 马银涛, 于明智, 等. 自动补偿外干扰磁场的生物磁测量原子磁强计系统及方法: CN202210143097.6[P]. 2022-05-24.
[14] 陈瑶, 蒋庄德, 赵立波, 马银涛, 于明智, 等. 基于MEMS气室的Rb-131Xe原子自旋陀螺仪单光束检测系统和方法: CN202111625960.3[P]. 2023-01-03.
[15] 赵立波 ,韩香广, 李雪娇, 王李, 于明智, 等. 基于静电激励压阻检测的差动式硅微谐振式压力传感器: CN202010121087.3[P]. 2021-05-26.
[16] 陈瑶, 张宁, 赵立波, 马银涛, 郭强, 于明智, 等. 基于光强差分的单光束原子磁强计偏置及噪声抑制装置及方法: CN202011583088.6[P]. 2022-10-28.