发布时间：2025-10-23

文章标题：全真空装备9 - 专利授权：一种超高真空多源共沉积装置

内容：

该专利主要完成人为本组2024届毕业生张又麒和25届毕业生刘逸凡，两人均从事半导体芯片制造工艺研发工作。