发布时间：2025-08-13

文章标题：全真空装备8 - 专利授权：一种超高真空样品台与集成式低温输运测量台

内容：

 

 

该专利主要完成人为本组2024届毕业生张又麒同学，他目前从事半导体芯片制造工艺相关研发工作。