发布时间：2020-05-28

文章标题：全真空装备1- 专利授权：一种超高真空除气装置及方法

内容：

 

该专利是本课题组在超高真空设备技术开发方面系列工作中第一个授权的专利，主要贡献学生为吴迪同学。