MEMS传感器由于其精度高、体积小、成本低等优点广泛应用于国防、工业及电子消费品领域。本课题组为解决我国对高性能MEMS加速度传感器的需求，重点针对惯性导航、振动监测、地震检波三个应用场合分别研制高精度MEMS加速度传感器和测试样机。还研制了高精度扭矩传感、压力传感器、电荷传感器等核心MEMS敏感芯片。
教授 博士生导师 硕士生导师
MEMS传感器由于其精度高、体积小、成本低等优点广泛应用于国防、工业及电子消费品领域。本课题组为解决我国对高性能MEMS加速度传感器的需求，重点针对惯性导航、振动监测、地震检波三个应用场合分别研制高精度MEMS加速度传感器和测试样机。还研制了高精度扭矩传感、压力传感器、电荷传感器等核心MEMS敏感芯片。