基于微机电系统技术的密度传感器芯片及其制备方法
Release Time:2025-04-30
Hits:
- Title:
- 基于微机电系统技术的密度传感器芯片及其制备方法
- Type of Patent:
- Invent
- Application Number:
- 授权号：ZL 2009 1 021937
- Service Invention or Not:
- No
- Application Date:
- 2009-02-01
- Date:
- 2025-04-30
- Prev One:基于微机电系统技术的粘度传感器芯片及其制备方法
- Next One:SOI全硅结构充硅油耐高温压力传感器 （排名第2）