- 一种基于谐振式结构的电涡流传感器芯片及其制备方法,201210567773.9,Invent,2012-12-25,
- 一种硅杯结构的热扩散率传感器芯片及其制备方法,201210201502.1,Invent,2012-6-18,
- 一种电容式微加工超声传感器及其制备与应用方法,201210068766.4,Invent,2012-3-15,
- 基于MEMS技术的同时测量流体密度、压力和温度的集成流体传感器,授权号：ZL 2011 1 018019,Invent,2011-6-30,
- 一种用于密度测量的电容微加工超声传感器及其制备方法,201110156060.9,Invent,2011-6-10,
- 具有双惠斯通全桥结构的MEMS流体密度传感器芯片及其制备方法,201110156059.6,Invent,2011-6-10,
- 一种基于晶圆键合技术的黏度传感器芯片及其制备方法,201110156116.0,Invent,2011-6-10,
- 一种双C型压电式动态轴重传感器,授权号：ZL 2011 1 008103,Invent,2011-3-31,
- MEMS筒式耐高温超高压力传感器,授权号：ZL 2010 1 062188,Invent,2010-12-31,
- 一种复合式MEMS耐高温超高压力传感器,授权号：ZL 2010 1 052285,Invent,2010-10-28,