代表性成果:
- 特种压力传感器
开发了面向航空航天、爆破毁伤等领域的高温高动态压力传感器,传感器使用温度优于400℃,测量 精度达到0.2%FS,动态特性优于500kHz,打破了美国、瑞士等国家的技术垄断,实现全量程、全温区范围的高温压力传感器国产化替代,并实现批量化生产。
- 液体火箭发动机矢量推力测量传感器
面向液体火箭发动机小推力“测不了”,“大推力“测不准”测试难题,开发了矢量推力测量传感器,解决了热耦合、管路耦合、振动耦合等复杂环境下的精度干扰系列技术难题,实现了 30N ,300N ,1500kN级发动机高精度矢量推力测量,测量精度优于0.5%FS。
- 高精度多维力传感器
面向机器人智能关节、多维力触觉对微型化、高精度六轴力传感器需求,实现复杂多轴载荷的高精度 和高灵敏度解耦测量,多维力芯片尺寸优于5mmx5mm;量程5N,分辨率优于0.02N,填补了国内该领 域技术空白;开发了基于玻璃微熔技术、溅射薄膜高精度六维力智能关节,获得了复杂构件力热解耦模 型与应力传递机制,实现了宽温区、高精度多维力测量。




