专利名称：一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置及获得方法

发明设计人：王宏兴，刘璋成，赵丹，胡文波，吴胜利

专利类型：发明

申请号：2019108126547

是否职务专利：否

申请日期：2019-08-30

发布时间：2025-04-30