专利名称：用于氮化镓和金刚石直接键合的生产设备

发明设计人：王宏兴，刘璋成，吴胜利，胡文波，赵丹，王艳丰

专利类型：实用新型

申请号：201821062676.3

是否职务专利：否

申请日期：2018-08-01

发布时间：2025-04-30