专利名称：一种纳米硅薄膜阴极及其制作方法

发明设计人：胡文波; 赵晓磊; 赵晓磊; 樊金龙; 吴胜利; 张劲涛

专利类型：发明

申请号：2014105583374

是否职务专利：否

申请日期：2014-10-20

发布时间：2025-04-30