项目名称：磁敏感元件及传感器的MEMS制造及量测标定技术研究

项目状态：进行中

项目分类：纵向项目

项目来源：国家重点研发计划

项目编号：2021YFB3201803

立项时间：2021-12-01

结项日期：2024-11-01

资助额度(万元)：394.0

发布时间：2025-04-30