Strategy for a loading force induced overlay position shift in step imprint lithography
发布时间：2025-04-30
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- 发布时间：
- 2025-04-30
- 论文名称：
- Strategy for a loading force induced overlay position shift in step imprint lithography
- 发表刊物：
- Proc. IMechE, Part B: J. Engineering Manufacture
- 合写作者：
- Jinyou Shao, Yucheng Ding, Hongzhong Liu, Li Wang
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2009-01-01