纳米压印光刻中多层套印精度控制机理与方法研究
发布时间：2025-04-30
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- 项目名称：
- 纳米压印光刻中多层套印精度控制机理与方法研究
- 项目状态：
- 进行中
- 项目分类：
- 纵向项目
- 项目来源：
- 国家自然科学基金项目
- 项目编号：
- 50805117
- 立项时间：
- 2009-01-01
- 结项日期：
- 2011-12-01
- 资助额度(万元)：
- 21.0
- 发布时间：
- 2025-04-30
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