主持17项，累计科研经费619.24万。
其中国家项目6项：
1、 国家重点研发计划项目课题， MEMS多维力敏感元件关键技术研究， 258万，主持
2、 国家自然科学基金面上项目，基于微纳米周期结构的几何量标准物质可控制备机理及比对溯源体系的研究， 58万，主持
3、 国家重点研发计划项目课题， 纳米几何特征参量计量标准器的研制， 230万元，主持
4、 国家自然科学基金青年项目，基于ALD技术的纳米台阶高度样板的制备与测量溯源研究， 21万，主持
5、 中央军委科技委JG项目课题，JZM-202011003-2面向***研究， 100万，主持
6、 国家基金委共融机器人重点项目子课题，基于材质识别的机器人灵巧手触觉传感系统及其共融技术研究，子课题 “机器人压力传感研究”， 70万元，主持
横向课题8项（到款65.24万）：
其他项目6项（到款50万）。
参与科研项目累计科研经费50万。
p柔性电子器件突破了刚性器件不可弯折、不可拉伸的特性，更加贴合复杂曲面，在可穿戴设备领域优势尤其突出，能有效提升其穿戴舒适性及监测效果。
pZhang Yujing, Wang Yuheng, Wang Chenying*, et al. Superior performances via designed multiple embossments within interfaces for flexible pressure sensors, Chemical Engineering Journal, 2023, 454, 139990., IF=16.744
领域介绍：
微纳米几何量标准物质是微观世界的 “精准标尺”，涵盖线间隔、台阶高度、薄膜厚度、线宽等关键参数的标准基准。
作为科技与产业发展的核心基石，它为各领域的精准测量与质量控制提供不可替代的支撑，是推动科技突破与产业升级的重要保障。在科研领域，它为扫描探针显微镜等精密仪器提供校准依据，支撑纳米材料微观结构与性能的深度研究；半导体制造中，通过规范电路关键几何参数，保障芯片性能稳定与良品率提升。
成果展示：
p针对我国台阶高度系列标准物质的空白尚未填补,且台阶高度及表面质量难以实现均匀可控的问题,首次采用原子层沉积（ALD）工艺制备多尺寸纳米台阶高度样板，最小公称高度仅5nm，可用于高精度纳米级测量仪器（如AFM、SEM等显微镜）的高度检测校准。
p集成式周期性几何结构标准物质对于光学仪器和微计算机断层扫描（微CT）等的校准至关重要，通过将光刻技术和电感耦合等离子体（ICP）蚀刻工艺相结合，突破常规标准物质测量范围受限、图案类型单一和校准参数单一等方面的局限性。
p采用原子层沉积（ALD）工艺精确控制跨尺度纳米栅格标准器特征尺寸，实现特征尺寸单原子级可控
pWang Chenying, et al. ACS Applied Materials and Interfaces, 2018, 10: 29750-29756. SCI: GT2UO, IF=8.097
