基于ALD技术的纳米台阶高度样板的制备与测量溯源研究
发布时间：2025-04-30
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- 项目名称：
- 基于ALD技术的纳米台阶高度样板的制备与测量溯源研究
- 项目状态：
- 进行中
- 项目分类：
- 纵向项目
- 项目来源：
- 国家自然科学基金青年基金项目
- 项目编号：
- 51505368
- 立项时间：
- 2016-01-01
- 结项日期：
- 2018-12-01
- 发布时间：
- 2025-04-30
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研究员 硕士生导师