“There's Plenty of Room at the Bottom. —— Richard Feynman”

先进光刻与新兴纳米器件实验室，ALiEN Lab（Advanced Lithography for Emerging Nanodevices Lab），依托双一流A⁺学科机械工程、精密微纳制造技术全国重点实验室平台，致力于开发先进纳米与光刻技术，近原子制造技术与装备，及其工程化应用探索，主要包括各种智能纳米光电子器件及其集成芯片、基于表面等离激元的生物传感芯片等。同时，以先进制造、人工智能、生命健康等国家发展战略为导向，不断夯实基础研究经验及科研成果转化，培养相关领域科技人才，为国家在“卡脖子”领域突破贡献力量！

实验室主要从事高分辨（亚10纳米尺度）先进纳米制造与光刻技术开发与应用，目前我们主要关注以下研究方向：