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教授 博士生导师 硕士生导师
涂敏,中科院上海微系统与信息技术研究所2020 X-Lab青年研究员,国家海外高层次人才入选者,主要从事多功能材料的微纳加工(包括极紫外光刻胶设计与开发)与MEMS器件应用。