

利用介质集成波导理论,设计了一款微波谐振式微流体传感器原型。通过使用左右手复合传输线的加载方式,在保持腔体品质因数不变的情况下,减小器件尺寸63%(Sens. Actuators A 283, 313, 2018)。该腔体谐振结构工作于-1阶模式,具有与传统腔体类似的场分布特性。由于腔体的测量灵敏度一般取决于被测样品和腔体体积之比,此设计可大大减少单次检测的样品使用量。研究了先进微纳加工技术在生物检测中的应用。引入微波差分式传感结构,集成设计微流体沟道与环形谐振单元,并通过基于MEMS的紫外光刻工艺(UV-LIGA)制备了一款一体式微流体感测芯片,系统工作在20GHz,可对45pL量级的微量液体进行精确测量(IEEE Sens. Lett. 3, 4500604, 2019)。这项成果可应用于化学试剂分析、细胞识别计数、血液元素测量、细菌病毒观测等诸多生化医疗领域。




