Fabrication of 4h–Sic Microvias Using a Femtosecond Laser Assisted by a Protective Layer
发布时间：2025-04-30
点击次数：
- 发布时间：
- 2025-04-30
- 论文名称：
- Fabrication of 4h–Sic Microvias Using a Femtosecond Laser Assisted by a Protective Layer
- 发表刊物：
- Optical Materials
- 合写作者：
- Bin Liu Panpan Fan , Hongwei Song, Kai Liao, Wenjun Wang
- 卷号：
- 123
- 页面范围：
- 111695
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2022-01-05