大口径非球面光学元件是高分辨率航天遥感器、大型天文望远镜、激光核聚变装置和光刻机等重大装备的核心元件，其加工精度、损伤抑制水平和制造效率是制约相关领域发展的瓶颈。本课题组研制了加工口径可达Φ1500 mm的非球面超精密磨床，填补了国内空白。研究了大口径非球面精密铣磨工艺，提出了基于砂轮面形匹配和误差分析的对刀方法以及基于误差部分补偿的圆弧包络磨削法，研究了大口径非球面的在位和离线测量技术，实现Φ400 mm以上非球面的面形精度PV值优于5 μm。
副教授 博士生导师 硕士生导师
大口径非球面光学元件是高分辨率航天遥感器、大型天文望远镜、激光核聚变装置和光刻机等重大装备的核心元件，其加工精度、损伤抑制水平和制造效率是制约相关领域发展的瓶颈。本课题组研制了加工口径可达Φ1500 mm的非球面超精密磨床，填补了国内空白。研究了大口径非球面精密铣磨工艺，提出了基于砂轮面形匹配和误差分析的对刀方法以及基于误差部分补偿的圆弧包络磨削法，研究了大口径非球面的在位和离线测量技术，实现Φ400 mm以上非球面的面形精度PV值优于5 μm。