基于MEMS技术的同时测量流体密度、压力和温度的集成流体传感器
Release Time:2025-04-30
Hits:
- Title:
- 基于MEMS技术的同时测量流体密度、压力和温度的集成流体传感器
- Type of Patent:
- Invent
- Application Number:
- 授权号：ZL 2011 1 018019
- Service Invention or Not:
- No
- Application Date:
- 2011-06-30
- Date:
- 2025-04-30
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