发布时间：2025-09-11

文章标题：喜报！课题组成员在2025年中国大学生机械工程创新创意大赛：“明石杯”微纳传感技术与智能应用赛总决赛斩获一等奖

内容：

近日，由中国机械工程协会主办的2025年第六届“明石杯”微纳传感技术与智能应用赛全国总决赛于8月25日至27日在山东烟台举行，本次比赛共吸引来自全国各高校369项各赛区一等奖作品参加。本次总决赛研究生组共评选出一等奖10个，二等奖40个，三等奖28个。焦斌斌教授团队作品《基于MEMS的宽量程高精度智能真空计》在决赛中斩获一等奖。

作品简介：

针对高端装备对真空度传感器通用化、小型化与智能化的迫切需求，本作品首次将MEMS压阻、MEMS皮拉尼、MEMS谐振集成在单颗芯片，并基于集成芯片开发了微型真空度传感器整机，实现了宽量程和高精度的真空度检测(5×10^-4Pa~0.1Pa@10%，0.1~5×10³Pa@5%，5×10³Pa~10⁵Pa@2%)。基于芯片的特性，开发了一种气体识别策略，传感器能够同时实现真空环境下气体种类的识别和补偿，以提高传感器的环境适应性。

 

                                                 

 

                                                                                             作品第一完成人乔靖评博士领奖

 

                                                  

                                                                                              一等奖奖杯和奖状