English

郭馨

教授博士生导师硕士生导师

个人信息更多+

学历：博士研究生毕业
学位：博士
职称：教授

研究领域

当前位置：中文主页 - Home - 研究领域

针对国家重大需求，解决高端光刻机研发、航空发动机研发等领域的基础科学和关键工程问题。主要研究包括：

智能芯片制造
光刻机深紫外光源研发
新型微器件设计开发
精密制造与极限表征