Home
基本信息
联系方式
研究领域
工作经历
教育经历
招生信息
研究方向
领域与项目
科学研究
著作成果
科研项目
我的新闻
校内登录
Home
基本信息
联系方式
研究领域
工作经历
教育经历
招生信息
研究方向
领域与项目
科学研究
著作成果
科研项目
我的新闻
个人信息
更多+
教师姓名: 郭馨
电子邮箱:
所在单位: 航天航空学院
学历: 博士研究生毕业
办公地点:
性别: 女
联系方式:
学位: 博士
职称: 教授
博士生导师: 是
硕士生导师: 是
研究领域
当前位置:
中文主页
-
Home
-
研究领域
针对国家重大需求,解决高端光刻机研发、航空发动机研发等领域的基础科学和关键工程问题。主要研究包括:
智能芯片制造
光刻机深紫外光源研发
新型微器件设计开发
精密
制造与极限表征