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  • 教师姓名: 郭馨
  • 电子邮箱:
  • 所在单位: 航天航空学院
  • 学历: 博士研究生毕业
  • 办公地点:
  • 性别: 女
  • 联系方式:
  • 学位: 博士
  • 职称: 教授
  • 博士生导师: 是
  • 硕士生导师: 是

研究领域

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​​​​​​​针对国家重大需求,解决高端光刻机研发、航空发动机研发等领域的基础科学和关键工程问题。主要研究包括:

  • 智能芯片制造

  • 光刻机深紫外光源研发

  • 新型微器件设计开发

  • ​​​​​​​​​​​​精密制造与极限表征