Argon metastable state densities in inductively coupled plasma in mixtures of Ar and O2
发布时间：2025-04-30
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- 发布时间：
- 2025-04-30
- 论文名称：
- Argon metastable state densities in inductively coupled plasma in mixtures of Ar and O2
- 发表刊物：
- Journal of Physics D: Applied Physics
- 摘要：
- SCI included
- 合写作者：
- Hayashi Y, Hirao S, Zhang Y, et al
- 卷号：
- 2009, 42(14)
- 页面范围：
- 145 - 206
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2009-04-16