发布时间：2025-04-30

著作名称：微纳加工科学原理

出版单位：电子工业出版社

简介：著作者具有几十年从事微纳加工技术、电子科学与技术等方面科研和教学的丰富经验，在著作者科研和教学成果积累的基础上，广泛参阅国内外该学科已有成果编写成本书。其内容全面、新颖，且系统反映了21世纪初本学科知识的研究现状和发展，特别是对纳米尺度的微细加工以及各种最新微细加工方式的原理、工艺技术、应用和发展前景进行了较为全面的阐述，让学生拥有国际前沿的开拓性视野和创新性思维。

是否译成外文：否

出版日期：2010-06-01

合写作者：唐天同，王兆宏