微纳加工科学原理
Release Time:2025-04-30
Hits:
- Date:
- 2025-04-30
- Title:
- 微纳加工科学原理
- Publisher:
- 电子工业出版社
- Brief Introduction:
- 著作者具有几十年从事微纳加工技术、电子科学与技术等方面科研和教学的丰富经验，在著作者科研和教学成果积累的基础上，广泛参阅国内外该学科已有成果编写成本书。其内容全面、新颖，且系统反映了21世纪初本学科知识的研究现状和发展，特别是对纳米尺度的微细加工以及各种最新微细加工方式的原理、工艺技术、应用和发展前景进行了较为全面的阐述，让学生拥有国际前沿的开拓性视野和创新性思维。
- Translated or Not:
- No
- Date of Publication:
- 2010-06-01
- Co-author:
- 唐天同，王兆宏