纳米双相复合结构Zr-Si-N扩散阻挡层材料及其制备工艺
点击次数：
发布时间：2025-04-30
专利名称：纳米双相复合结构Zr-Si-N扩散阻挡层材料及其制备工艺
发明设计人：宋忠孝 徐可为
专利类型：发明
申请号：ZL200310118999.1
是否职务专利：否
申请日期：2003-11-11
发布时间：2025-04-30
宋忠孝 (教授)
博士生导师 硕士生导师
入职时间：2007-04-26
学历：博士研究生毕业
性别：男
学位：博士
在职信息：在职
毕业院校：西安交通大学
学科：材料科学与工程
访问量：
最后更新时间：..
最后更新时间：..