难熔金属(Ge,Si)N扩散阻挡层制备及其失效机理研究
点击次数:
发布时间:2025-04-30
项目名称:难熔金属(Ge,Si)N扩散阻挡层制备及其失效机理研究
项目状态:进行中
项目分类:纵向项目
项目来源:国务院各部委项目
项目编号:XA-AM200708
立项时间:2007-07-01
发布时间:2025-04-30
难熔金属(Ge,Si)N扩散阻挡层制备及其失效机理研究
点击次数:
发布时间:2025-04-30
项目名称:难熔金属(Ge,Si)N扩散阻挡层制备及其失效机理研究
项目状态:进行中
项目分类:纵向项目
项目来源:国务院各部委项目
项目编号:XA-AM200708
立项时间:2007-07-01
发布时间:2025-04-30