一种热栅格扫描热波无损薄膜厚度检测方法
发布时间：2025-04-30
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- 专利名称：
- 一种热栅格扫描热波无损薄膜厚度检测方法
- 发明设计人：
- 张伟旭，曲直，张家宬
- 专利类型：
- 发明
- 申请号：
- CN20191032394.0
- 是否职务专利：
- 否
- 申请日期：
- 2019-01-01
- 发布时间：
- 2025-04-30
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教授 博士生导师 硕士生导师