GaN基半导体外延膜的残余应力对缺陷组态和外延生长的影响研究
发布时间：2025-04-30
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- 项目名称：
- GaN基半导体外延膜的残余应力对缺陷组态和外延生长的影响研究
- 项目状态：
- 进行中
- 项目分类：
- 纵向项目
- 项目来源：
- 国务院各部委项目
- 项目编号：
- xjj2011045
- 立项时间：
- 2011-01-01
- 资助额度(万元)：
- 9.0
- 发布时间：
- 2025-04-30
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