利用离子束加厚非晶四面体碳涂层的方法及装置及涂层
发布时间:2025-04-30
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- 专利名称:
- 利用离子束加厚非晶四面体碳涂层的方法及装置及涂层
- 发明设计人:
- 康永锋;张泽龙;李斌;赵玉清
- 专利类型:
- 发明
- 申请号:
- 201810713176X
- 是否职务专利:
- 否
- 申请日期:
- 2018-06-29
- 发布时间:
- 2025-04-30
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学历:硕博连读
学位:博士
职称:教授
学科: 电子科学与技术